Dinamikus szkennelő optikai rendszer optika: 1 pc kis fókusz lencse 、 1-2 százalék fókusz lencsék 、 Galvo tükör. A teljes optikai lencse a gerenda-bővítés, a fókuszálás és a gerenda elhajlásának és a szkennelésnek a függvényét képezi.
A bővülő rész egy negatív lencse, azaz a kis fókusz lencséje, amely megvalósítja a gerenda bővítését és a mozgó zoomot, a fókuszáló lencse pozitív lencsékből áll. A Galvo tükör tükör a Galvanométer rendszerben.
(1) A lencse kialakításának optimalizálása: az átmérő és a vastagság aránya optimális aránya
(2) Lencse nagy károsodási küszöb:> 30J/cm2 10ns
(3) ultra alacsony abszorpciós bevonat, abszorpciós sebesség: <20ppm
(4) Galvanométer vastagságának átmérője: 1：35
(5) Lencse felületének pontossága: <= λ/5
Objektív utáni lencse
| Max. | Optika 1 átmérőjű (mm) | Optika 2 átmérőjű (mm) | Optika 3 átmérőjű (mm) | Beolvasási mező (MM) | Tiszta rekesz szkenner (mm) | Hullámhossz |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090NM |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355nm |
Reflektor tükör
| Részleírás | Átmérő (mm) | Vastagság (mm) | Anyag | Bevonat |
| Szilícium reflektor | 25.4 | 3 | Szilícium | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| Szilícium reflektor | 30 | 4 | Szilícium | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| Rost reflektor | 25.4 | 6.35 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@1030-1090nm ， AOI: 45 ° |
| Rost reflektor | 30 | 5 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@1030-1090nm ， AOI: 45 ° |
| Rost reflektor | 50 | 10 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@1030-1090nm ， AOI: 45 ° |
| 532 reflektor | 25.4 | 6 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45 ° |
| 532 reflektor | 25.4 | 6.35 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45 ° |
| 532 reflektor | 30 | 5 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45 ° |
| 532 reflektor | 50 | 10 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45 ° |
| 355 reflektor | 25.4 | 6 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@355nm és 433nm, AOI: 45 ° |
| 355 reflektor | 25.4 | 6.35 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@355nm és 433nm, AOI: 45 ° |
| 355 reflektor | 25.4 | 10 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@355nm és 433nm, AOI: 45 ° |
| 355 reflektor | 30 | 5 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@355nm és 433nm, AOI: 45 ° |
Galvo tükör
| Részleírás | Max. | Anyag | Bevonat | Hullámhossz |
| 55mml*35 mmw*3,5mt-x 62mml*43mmw*3,5mt-y | 30 | Szilícium | MMR@10.6um | 10.6um |
| 55mml*35 mmw*3,5mt-x 62mml*43mmw*3,5mt-y | 30 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@1030-1090nm | 1030-1090NM |
| 55mml*35 mmw*3,5mt-x 62mml*43mmw*3,5mt-y | 30 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@532nm | 532nm |
| 55mml*35 mmw*3,5mt-x 62mml*43mmw*3,5mt-y | 30 | Olvasztott szilícium -dioxid | HR@355nm | 355nm |
Védő lencse
| Átmérő (mm) | Vastagság (mm) | Anyag | Bevonat |
| 75 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
