Dinamikus pásztázó optikai rendszer optikája: 1 db kis fókuszú lencse, 1-2 db fókuszú lencse, Galvo tükör. A teljes optikai lencse a nyaláb tágulása, a fókuszálás, a nyaláb eltérítése és a pásztázás függvénye.
A táguló rész egy negatív lencse, azaz kis fókuszú lencse, amely nyalábtágítást és mozgó zoomot valósít meg, a fókuszáló lencse pozitív lencsék csoportjából áll. A galvotükör a galvanométer rendszerben lévő tükör.
(1) A lencse kialakításának optimalizálása: Az átmérő és a vastagság optimális aránya
(2) Lencse nagy károsodási küszöbértéke: >30J/cm2 10ns
(3) Ultra alacsony abszorpciós bevonat, abszorpciós sebesség: <20 ppm
(4) Galvanométer vastagságának és átmérőjének aránya: 1:35
(5) Lencsefelület pontossága: <= λ/5
Posztobjektív lencse
Max. belépő pupilla (mm) | 1. optika átmérője (mm) | 2. optika átmérője (mm) | Optika 3 átmérője (mm) | Szkennelési mező (mm) | Tiszta rekesz Szkenner átmérője (mm) | Hullámhossz |
8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 μm |
12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Reflektor tükör
Alkatrész leírása | Átmérő (mm) | Vastagság (mm) | Anyag | Bevonat |
Szilícium reflektor | 25.4 | 3 | Szilícium | HR@10.6um,AOI: 45° |
Szilícium reflektor | 30 | 4 | Szilícium | HR@10.6um,AOI: 45° |
Szálas reflektor | 25.4 | 6.35 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
Szálas reflektor | 30 | 5 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
Szálas reflektor | 50 | 10 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@1030-1090nm, AOI: 45° |
532 Reflektor | 25.4 | 6 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Reflektor | 25.4 | 6.35 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Reflektor | 30 | 5 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
532 Reflektor | 50 | 10 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
355 Reflektor | 25.4 | 6 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@355nm és 433nm, AOI: 45° |
355 Reflektor | 25.4 | 6.35 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@355nm és 433nm, AOI: 45° |
355 Reflektor | 25.4 | 10 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@355nm és 433nm, AOI: 45° |
355 Reflektor | 30 | 5 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@355nm és 433nm, AOI: 45° |
Galvo tükör
Alkatrész leírása | Max. belépő pupilla (mm) | Anyag | Bevonat | Hullámhossz |
55 mm-es hosszúság * 35 mm-es szélesség * 3,5 mm-es átmérő 62 mm hosszú * 43 mm széles * 3,5 mm vastag | 30 | Szilícium | MMR@10.6um | 10,6 μm |
55 mm-es hosszúság * 35 mm-es szélesség * 3,5 mm-es átmérő 62 mm hosszú * 43 mm széles * 3,5 mm vastag | 30 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@1030-1090nm | 1030-1090 nm |
55 mm-es hosszúság * 35 mm-es szélesség * 3,5 mm-es átmérő 62 mm hosszú * 43 mm széles * 3,5 mm vastag | 30 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@532nm | 532 nm |
55 mm-es hosszúság * 35 mm-es szélesség * 3,5 mm-es átmérő 62 mm hosszú * 43 mm széles * 3,5 mm vastag | 30 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@355nm | 355 nm |
Védőlencse
Átmérő (mm) | Vastagság (mm) | Anyag | Bevonat |
75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |