Dinamikus pásztázású optikai rendszer optikája: 1db kis fókuszú lencse, 1-2db fókuszlencse, galvo tükör. A teljes optikai lencse a sugártágulás, fókuszálás, sugáreltérítés és pásztázás függvénye.
A tágító rész egy negatív lencse, azaz kisfókuszú lencse, amely sugártágítást és mozgó zoomot valósít meg, a fókuszáló lencse pozitív lencsék csoportjából épül fel. A galvo tükör tükör a galvanométer rendszerben.
(1) A lencse kialakításának optimalizálása: Az átmérő és a vastagság arányának optimális aránya
(2) Magas lencsekárosodási küszöb:>30J/cm2 10ns
(3) Ultra-alacsony abszorpciós bevonat, abszorpciós sebesség: <20ppm
(4) Galvanométer vastagság/átmérő arány: 1:35
(5) A lencse felületének pontossága:<= λ/5
Objektív utáni lencse
| Max bejárati pupilla (mm) | Optika 1 Átmérő (mm) | Optika 2 Átmérő (mm) | Optika 3 Átmérő (mm) | Szkennelési mező (mm) | Tiszta rekesznyílás szkenner (mm) | Hullámhossz |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Reflektor tükör
| Alkatrész leírása | Átmérő (mm) | Vastagság (mm) | Anyag | Bevonat |
| Szilikon reflektor | 25.4 | 3 | Szilícium | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Szilikon reflektor | 30 | 4 | Szilícium | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Fiber Reflektor | 25.4 | 6.35 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| Fiber Reflektor | 30 | 5 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| Fiber Reflektor | 50 | 10 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@1030-1090nm，AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 25.4 | 6 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 25.4 | 6.35 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 30 | 5 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflektor | 50 | 10 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25.4 | 6 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25.4 | 6.35 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 25.4 | 10 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflektor | 30 | 5 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Galvo tükör
| Alkatrész leírása | Max bejárati pupilla (mm) | Anyag | Bevonat | Hullámhossz |
| 55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Szilícium | MMR@10.6um | 10,6 um |
| 55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@1030-1090nm | 1030-1090 nm |
| 55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@532nm | 532 nm |
| 55mmL*35mmW*3,5mmT-X 62mmL*43mmW*3,5mmT-Y | 30 | Olvasztott szilícium-dioxid | HR@355nm | 355 nm |
Védőlencse
| Átmérő (mm) | Vastagság (mm) | Anyag | Bevonat |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
